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朗姆研究申请动态冷却剂混合歧管，用于控制布置在衬底支撑组件上的衬底的温度:冷却剂
金融界2025年6月27日消息，国家知识信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“动态冷却剂混合歧管”的，公开号CN120221449A，申请日期为2019年01月冷却剂。摘要显示，本发明涉及动态冷却剂
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金融界2025年6月27日消息，国家知识信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“动态冷却剂混合歧管”的，公开号CN120221449A，申请日期为2019年01月冷却剂。摘要显示，本发明涉及动态冷却剂